Prinsip inti sensor-presisi tinggi terletak pada konversi kuantitas terukur menjadi sinyal listrik yang presisi, stabil, dan andal melalui desain presisi, proses manufaktur canggih, algoritme pemrosesan sinyal kompleks, dan teknik kompensasi kesalahan yang ketat. Aspek utama dalam mencapai presisi tinggi mencakup: pengoptimalan prinsip penginderaan dasar, material-berperforma tinggi dan struktur presisi, proses manufaktur tingkat lanjut (seperti MEMS), kebisingan-rendah, sirkuit elektronik-presisi tinggi, kompensasi suhu, nonlinier dan linierisasi, kalibrasi dan standardisasi, pemrosesan sinyal digital, serta penekanan dan perlindungan interferensi. Ide intinya adalah untuk memahami secara mendalam dan mengukur semua kemungkinan sumber kesalahan dan secara aktif menghilangkan atau mengkompensasi kesalahan ini melalui desain kolaboratif perangkat keras dan perangkat lunak.
Di bidang manufaktur dan inspeksi presisi, sensor-presisi tinggi digunakan untuk pengukuran perpindahan, dimensi, dan topografi permukaan dengan presisi tinggi, seperti sensor kontak tipe pena GT2-P12KL-untuk deteksi tingkat mikron.
Di bidang kontrol dan pemantauan proses, sensor-presisi tinggi digunakan di lingkungan industri yang keras seperti industri kimia dan energi untuk memantau parameter proses utama yang sangat andal seperti tekanan, suhu, dan laju aliran, seperti sensor tekanan-presisi tinggi dari OMEGA seri PX409.
