Miniatur sel beban adalah-perangkat pengukur gaya presisi yang dikembangkan berdasarkan teknologi Sistem Mikroelektromekanis (MEMS). Termasuk dalam kategori perangkat mikroelektromekanis, terobosan teknologi intinya terletak pada optimalisasi skala nano elemen penginderaan piezoresistif semikonduktor.
Sel beban miniatur terutama mencapai pengukuran dengan menghasilkan sinyal listrik melalui deformasi mekanis diafragma mini. Komponen inti menggunakan strain gauge MEMS. Sensor ini dapat diperkecil hingga berukuran beberapa milimeter dan berat hanya beberapa gram. Teknologi pengemasan komposit menggunakan struktur lapisan ganda-logam-silikon, memberikan perlindungan terhadap kelembapan dan debu sekaligus mengontrol penyimpangan suhu dalam ±0,005%/derajat .
Sel beban miniatur mencakup dua jenis utama: sensor tekanan miniatur dan akselerometer mini. Mereka dapat diintegrasikan ke dalam perangkat pintar yang dapat dikenakan (seperti fungsi pemantauan berat badan di jam tangan pintar), perangkat elektronik konsumen (seperti tombol-yang sensitif terhadap tekanan pada ponsel cerdas), penimbangan lini produksi industri, pengukuran kemasan, proporsi bahan, dan peralatan medis (seperti sistem umpan balik kekuatan gabungan pada robot bedah), sehingga memperluas batasan penerapan sel beban.
